- EL-FLOW Metal Sealed
- 내용
금속 씰 (Metal sealed)
1989년부터 Bronkhorst는 반도체 시장과 기타 고순도 가스 응용 분야의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계된 금속 씰 질량 유량 및 압력 미터/컨트롤러를 제조했습니다.
이 기기는 높은 표면 품질을 특징으로 하며 장기간 누출 방지를 보장하는 금속-대-금속 씰이 있는 모듈식 구조입니다. 금속 씰 질량 유량계/컨트롤러는 0.1…5 sccm ~ 1…50 slm(N2 기준)의 범위 또는 요청 시 더 높은 범위로 공급될 수 있습니다 금속 씰 압력 유량계/컨트롤러는 0,029...1,43psi에서 최대 18...900psi의 압력 범위에서 사용할 수 있습니다.
최저 범위 0,12...6mln/분
최고 범위 1... 50 ln/min
고순도 가스 공급용
Bronkhorst의 금속 씰 가스 질량 유량계 및 컨트롤러는 특허를 받은 고유한 금속-대-금속 씰 구조와 뛰어난 재밀봉 기능이 특징입니다. 또한 높은 표면 품질로 구별되므로 반도체 및 태양광 산업 요구 사항과 기타 고순도 가스 응용 분야에 특히 적합합니다. 질량 유량계 및 컨트롤러의 기본 블록에는 1/4" 전면 씰 수(VCR) 연결부가 있습니다.
Fieldbus 인터페이스가 있는 금속 밀폐형 질량 유량계/컨트롤러
오늘날의 기기에는 디지털 PC 기판이 장착되어 있어 고정밀, 우수한 온도 안정성 및 빠른 응답(안정화 시간 t98 ~ 500msec)을 제공합니다. 최신 EL-FLOW® 디자인은 다중 가스/다중 범위 기능을 갖추고 있어 (OEM-) 고객에게 최적의 유연성과 공정 효율성을 제공합니다. 고객의 편의를 위해 Bronkhorst는 사용하기 쉬운 구성 소프트웨어를 제공합니다.
일반 기능
특허 받은 금속 대 금속 씰 구조로 (대기중으로의) 장기적 누출 방지
내부 표면의 전해 연마
빠른 응답, 탁월한 반복성
0,12...6 sccm에서 최대 1...50 slm 사이의 유량 범위 (N2기준, 요청 시 더 높은 값도 가능)
다중 가스 / 다중 범위 기능
낮은 압력 강하 또는 진공 응용 분야를 위한 옵션 솔루션
0,029...1,43 ~ 18...900psi의 압력 범위
RoHS 지침 준수
디지털 기능
필드버스 인터페이스:
CAN 2.0: DeviceNet™, CANopen®
직렬 RS232/485: PROFIBUS DP, Modbus RTU/ASCII, FLOW-BUS
산업용 이더넷 프로토콜: EtherCAT®, PROFINET, Modbus/TCP, EtherNet/IP, POWERLINK
노드 주소 선택을 위한 로터리 스위치 및 DeviceNet™ 데이터 속도
높은 정확도, ± 0.5% RD + ± 0,1% FS
최대 8개의 교정 곡선 저장
알람 및 카운터 기능
단일 레일 전원 공급 장치: +15 또는 +24 Vdc
